TURBOVAC i/iX系列是涡轮分子真空泵的模块化系列。与集成驱动电子设备(变频器)一起构成一个单元。
带机械转子悬架的TURBOVAC涡轮分子真空泵用于10-1 mbar(0.75 x 10-1托)至10-10 mbar(0.75 x 10-1托)的压力范围。空气的泵送速度从35升/秒到2400升/秒不等。
TURBOVAC MAGiNTEGRA涡轮分子真空泵是最紧凑的磁悬浮泵