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基于晶圆片的晶体硅模块

干燥压缩真空泵与罗茨鼓风机的组合

  • 高抽速
  • 高可靠性
  • 适用于高要求的工艺应用(粉尘，蒸汽等)
  • 监测系统

涡轮分子泵

  • 适合处理颗粒
  • 前级真空高公差
  • 任意方位安装

与罗茨鼓风机组合的单级旋转叶片泵

  • 设计用于快速泵送
  • 装载锁和转移室
  • 坚固的真空发生器用于粗真空范围
  • 高可靠性
  • 成本优化
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