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薄膜

薄膜是一层厚度从一纳米到几微米不等的材料。薄膜技术在过去的几十年里得到了改进，需要可靠的产品才能达到最好的质量。对于薄膜沉积工艺，莱宝可以提供合适的真空设备，以满足这一应用的要求，其性能干式D狗万取款标准aRYVAC / RUVAC泵送系统。

泵系统与干压缩泵

  • 高泵氢速度
  • 粒子的
  • 典型工艺气体的高介质兼容性
  • 综合监控运行参数和罗茨泵控制
  • 温度可调，吹气流量可调
  • 通过Profi总线控制参数
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