真空测量和控制
随着各种真空系统和流程，需要测量真空性能。
用于测量该宽范围内的压力的仪器称为真空计，并从高于大气压（〜2000毫巴（1500托））下降到10-12毫巴/托。没有单个传感器技术能够在此范围内测量。
因此，各种不同的真空仪表可用，每个都具有自己的特点和在多十年的真空上测量的能力。为了扩大测量范围，现在将多种技术组合成单个仪表以减少系统所需的连接。
区分真空计类型的主要方式是它们如何测量气体：直接或间接压力测量。
- 如果是直接（或气体独立）压力测量，通过真空计获得的读数与气体类型无关，并且给出的压力始终是系统的真正压力。通常依赖于膜的机械偏转，这些能够从高于大气压下降到10-4mbar / torr。这些规格类型将在短程范围内提供高精度，通常非常强大。
- 如果是间接压力测量，压力被确定为气体的压力依赖性（例如，导热，电离概率）的函数。这些性质不仅取决于压力，而且依赖于气体的摩尔质量。因此，这些也称为气体依赖性。读数通常涉及空气或氮作为测量气体。为了测量其他蒸气或气体，必须应用相应的校正因子用于系统的真正压力。这些仪表能够在更宽的范围内压力测量（大气压至10 x 10-12母栏依赖于类型/组合），权衡是较低的准确度。
真空仪表上的另一个常见决策点是活跃的或被动的，在我们广泛的真空仪中可以提供此选项。
- 主动测量是仪表头（传感器头）与控制和输出信号所需的电子设备相结合，使得能够轻松地集成到系统。
- 被动测量是测量头与电子器件分离的地方，然后在专用控制器中单独保持。这样做的优点是它们可以在电子器件无法运行的环境中使用，例如高辐射环境，并且可以从所述环境中移除单独的控制器。
仪表和控制器
- 广泛的真空测量
- 精密真空测量
- 真空泵和规格控制器
- 便携式和机械真空测量
- 配件
广泛的真空测量
宽压范围内的鲁棒性，可靠性和准确的压力测量。
- Thermovac TTR / TR系列- 适用于监控标准的主要/背衬泵压力。
- PenningVac PTR / PR系列- 在高真空区域中实现测量，这些可以描述为全范围仪表。
- Ionivac ITR / IE系列- 进一步将真空范围延伸成超高真空压力。
精密真空测量
对于最高的准确性和重复性，在最恶劣的环境中，这些非常适合详细系统控制。
- Ceravac CTR真空仪表- 电容压力计量表的顶部。
- di / du真空仪表 -略低的精度水平，但适合肮脏/潮湿/尘土飞扬的环境。
真空泵和规格控制器
为您提供显示压力的能力，并将其测量集成到更广泛的控制系统中。我们有一系列控制器可根据具体要求选择。
便携式和机械真空测量
具有具有集成显示器的仪表，电池供电，使您能够在任何地方测量。当您只需要绘制真空的指示，而不是精确测量时，机械表盘仪也是理想的。
Ionivac热阴极电离真空测量仪
热阴极电离与冷阴极不同，因为它具有内置传感器头的热灯丝发射离子。该技术能够测量培养基到超高真空压力（10-12MBAR / TORR），交易是一种需要更多保护的传感器头，并且其更复杂的设计具有更高的所有权成本。
与冷阴极技术一样，他们停止测量〜10-2因此，MBar / Torr，因此通常与集成的Pirani结合，以在单个仪表中提供全系列测量。
还存在不同的热阴极技术版本，主要类型是Bayard-Alpert（ITR或IE 414）和提取器（即514）。提取器技术提供最低的压力测量，能够测量到10-12mbar / torr.
