真空氧脱碳(VOD)通常用于生产不锈钢。与VD工艺相比，VOD处理涉及额外的吹氧步骤，以减少钢中可氧化化合物的含量，如碳或磷。氧流也可以用于熔体的化学加热(VD-OB过程)，因为钢含量与氧的化学反应是放热的。
在脱碳步骤中，真空系统必须能够在~50- 200mbar范围内的粗压力下连续运行，同时同时去除通常为5,000 m³/h至20,000 m³/h的高气体流量。脱碳过程可持续10-45分钟。
这种应用的主要挑战是在吹氧阶段产生的极高数量的粉尘颗粒，在此气体流动峰值附近可能存在高浓度的未反应氧气。
在脱碳步骤之后总是要进行真空脱气(VD)步骤，在此步骤中，泵送速度必须在50,000 m³/h到250,000 m³/h之间，工艺压力约为0.67 mbar。
除尘过程中产生的大量粉尘需要过滤。由于粉尘颗粒经常自燃，因此必须相应地设计过滤系统。成功使用的过滤器设计因此通常使用“惰性气体反吹清洗”步骤来清洗过滤器表面。
在长时间的粗压吹氧操作中，离开罐除气器的气体密度也很高，这意味着它们储存了大量的热能。为防止防尘过滤器过热，在吹氧阶段，必须在过滤器和水箱之间安装一个气体冷却器。