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基于晶片的模块

与罗茨鼓风机组合的干式压缩真空泵

  • 高抽速
  • 高可靠性
  • 适用于要求苛刻的工艺应用（灰尘、蒸汽等）
  • 监测系统

涡轮分子泵

  • 适合处理颗粒
  • 高真空耐受性
  • 任何方向的安装

与罗茨鼓风机组合的单级旋转叶片泵

  • 设计用于快速泵送
  • 负载锁定和传输室
  • 适用于粗糙真空范围的坚固真空发生器
  • 高可靠性
  • 成本优化
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