油扩散真空泵

浸油散布泵

扩散泵的工作原理一般取决于蒸气射流对气体的输送能力。泵送速度范围为3,000 l/s ~ 50,000 l/s，工作压力范围< 10^－2到10.^－７mbar。

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DIJ油扩散泵

DIJ系列的扩散泵是5级油扩散泵，气体通量提高，高压在> 10的范围内^－3mbar。泵送速度2400 l/s ~ 33,000 l/s，工作范围< 10^－1到10.^－７mbar。

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OB油扩散泵

油增压泵(OB)有一个或多个四级喷嘴系统和一个或多个喷射级。泵送速度范围从6000到18000升/秒，工作压力范围从10^－1< 10^－4mbar。