真空泵面临的挑战取决于“空”瓶中的残余气体。它们可能是空气和湿气(如果瓶子是新的)或多种类型的苛刻工艺气体,例如用于化学或半导体应用的气体。因此,选择正确的真空泵取决于气体的类型。从历史上看,通常使用的真空泵是两级油封旋转叶片泵。然而,如今,干式压缩泵已经变得越来越标准,因为它们也可以处理腐蚀性气体。
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