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薄膜

薄膜是一层厚度从一纳米到几微米不等的材料。薄膜技术在过去几十年中得到了改进，需要可靠的产品才能达到最佳质量。对于薄膜沉积工艺，莱宝德可以提供合适的真空设备，通过其高性能的干式真空泵/RUVAC泵送系统完全满足该应用的要求。狗万取款标准a

带干式压缩泵的泵系统

  • 高抽氢速度
  • 粒子的
  • 典型工艺气体的高介质兼容性
  • 运行参数和罗茨泵控制的综合监控
  • 可调温度和吹扫气体流量
  • 通过Profi总线控制参数
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