典型的研究应用包括:
- 表面科学
- 催化作用
- 冶金学
- 光电
- 半导体
- 能量
- 组合材料研究
M-UHV系统是集成各种UHV分析技术的优秀平台,包括:
- X射线光电子能谱(XPS)
- 俄歇电子能谱(AES)
- 能量损失谱(ELS)
- 紫外线光电子能谱(UPS)
- 扫描电子显微镜(SEM)
- 扫描俄歇显微镜(SAM)
- 程序升温脱附(TPD)/程序升温反应光谱(TPRS)/热脱附光谱(TDS)
- 反射高能电子衍射(RHEED)
- 离子散射光谱(ISS)
- 二次离子质谱(SIMS)
- 扫描隧道显微镜(STM)
- 高分辨率电子能量损失谱(HREELS)
- ……还有更多