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薄膜是从纳米馏分到厚度的几微米的一层材料。薄膜技术在过去的几十年中得到了改善,需要可靠的产品来达到最佳质量。对于薄膜沉积工艺,Leybold可以提供正确的真空设备,利用其性能干燥的DryV狗万取款标准aac / Ruvac泵送系统来满足本申请的要求。
用于薄膜沉积的DryVac / Ruvac系统的优点
具有干压缩泵的泵系统
高氢气泵速
粒子的
典型工艺气体的高媒体兼容性
操作参数和根泵控制的集成监控
可调节温度和吹扫气流
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