薄膜

薄膜是从纳米馏分到厚度的几微米的一层材料。薄膜技术在过去的几十年中得到了改善,需要可靠的产品来达到最佳质量。对于薄膜沉积工艺,Leybold可以提供正确的真空设备,利用其性能干燥的DryV狗万取款标准aac / Ruvac泵送系统来满足本申请的要求。

具有干压缩泵的泵系统

  • 高氢气泵速
  • 粒子的
  • 典型工艺气体的高媒体兼容性
  • 操作参数和根泵控制的集成监控
  • 可调节温度和吹扫气流
  • 参数通过Profi Bus控制可控
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